菠菜网址注册开户 重磅！单点车激光辅助加工现场演示成果纪实报告

11月6日，光研科技在武汉精密切削展示中心给大家现场演示了微激光辅助 OptimusT2 系统Si <111>镜片单刀连续加工以及Si<100>衍射面加工，演示成果得到红外光学行业龙头企业一致认可。在不换刀的情况下，连续加工国产Si <111>材料十刀以上，通过快速手工抛光即可达到交付要求。显著提升了刀具的使用寿命以及加工效率。此次演示得到了美国μ-LAM公司和NIIDDM陈肖博士的大力支持，业界专家孙工亲自演示加工，确保了此次演示的成功。

硅片连续加工：

为打消国内客户对激光辅助加工国产Si <111>材料的疑虑，此次加工的材料，由客户提供。

材料：Si，晶向 111，直径：82mm。加工要求：曲率半径公差：+/-0.1mm，面型公差：<1.0Fr（0.316µm) P/V over 60.0mm CA.,表面粗糙度：<5nm RMS。

第一,二刀效果图：

第三,四刀效果图：

第五,六刀效果图：

第七,八刀效果图：

第九,十刀效果图：

十刀后手工抛光效果图：

硅片衍射面加工：

材料：Si，晶向：100，直径: 51mm，平凸，衍射环.

加工要求：

衍射环深度：1.72µm，过渡区域宽度：<45µm

曲率半径公差：+/-0.1mm，面型公差：<1.0Fr（0.316µm) P/V over 60.0mm CA

表面粗糙度：<5nm RMS,

加工后效果图及测试报告：